非晶質シリコン (ひしょうしつしりこん) 【amorphous silicon】
a-Si:Hで表され,SiH4(シラン)ガスのグロー放電により作製する.多量のHを含み局在準位密度が1017cm-3以下に減少し,BやO添加によるPN制御が可能である.感光体用には高抵抗化のため微量の酸素,炭素等を添加することもある.
【分野】電子写真(材料)
【関連用語】: アモルファスシリコン アモルファスシリコン系感光体
a-Si:Hで表され,SiH4(シラン)ガスのグロー放電により作製する.多量のHを含み局在準位密度が1017cm-3以下に減少し,BやO添加によるPN制御が可能である.感光体用には高抵抗化のため微量の酸素,炭素等を添加することもある.
【分野】電子写真(材料)
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