半導体ICを製作するための回路パターンの原版のこと．これを通してフォトレジストに露光する．ガラス基板上に金属膜を蒸着し，フォトレジストを用いてエッチングによりパターンを形成したものが高精度の原版となるが，銀塩写真法によるマスクも多く使用される．
【分野】印刷・写真・入力
【関連用語】：
